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MBE四维样品台

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以实现150K~1500K大范围变温;
样品台可通过辐射、直接电流与电子束三种方式进行加热;
样品台可通过液氮导热冷却;
可以通过热偶测温,可配合PID电源辅助控温;
品台可以通过液氮导热冷却;
实现XYZ方向平移以及绕z轴旋转;
整体可烘烤至200℃。

 

 

   

 

       MBE四维样品台可以实现对样品的精确x,y,z三维平移以及轴向的转动,方便传样、RHEED监控、氩刻等操作。样品台通过液氮开循环制冷,最低温度可达150K。
       样品台集成了热辐射、支流加热与电子束轰击三种加热方式,最高温度可达1500K,可用热偶与红外(需另配组件)测温。配合程控电源可实现对温度的精确控制以及程序化的升 / 降温过程。

 

 

                                                             MBE四维变温样品台尺寸图

 

 

 

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