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PLD标准靶台

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所有靶均可实现真空原位换靶,并带水冷装置;
每个靶均带有分隔板与保护板;
所有靶均能实现程控的自转与公转;
靶台能实现X方向自控位移;
台能实现Z方向手动位移;
 
                           PLD标准靶台

 

      激光分子束外延(PLD)利用紫外脉冲激光轰击生长原料(靶材)以实现真空镀膜。PLD标准靶台即是这一过程中盛放原料(靶材)的真空部件,它可以同时安装6个原料靶,每个靶台均有分隔板与保护板,可以实现程控靶位切换,配合机械手可真空原位更换靶材。程控靶自转和一维往复运动,可以提高靶材的利用率。配合准分子激光三轴联动扫描,可以提高薄膜的均匀性,实现大面积均匀薄膜样品的制备。


                      

                                                           PLD标准靶台尺寸图

 

 

 

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