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激光分子束外延系统

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激光分子束外延系统
激光分子束外延是在传统的分子束外延(MBE)和脉冲激光沉积系统(PLD)的基础上发展而来, PLD与提供原位监测的反射高能电子衍射仪(RHEED)相结合,可以实现类似与MBE的单原子层精度的薄膜生长。LMBE具有很多其它薄膜制备手段所不具备的优势:对靶材的种类...

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