蒸发源/MBE束源炉（MBE sources）-部件产品-【官网】埃频（上海）仪器科技有限公司

分子束外延（MBE）是一种在晶体基片上外延生长高质量晶体薄膜的薄膜制备方法。由于成膜质量好，控制精度高，它已经被广泛的用于表面物理研究，半导体工艺，材料研究等方面。标准热蒸发源是MBE设备中最常用的生长源炉，他通过辐射加热的原理加热放置在坩埚中的靶材，主要用...

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传统热蒸发源在近室温范围内往往会出现升温过快，降温过慢以及坩埚温度不均匀等问题，很难精确控制生长温度。低温热蒸发源选用导热良好的石英坩埚，坩埚通过液态金属与导热性能优良的铜相连，在热源和冷源的共同作用下，实现稳定准确地控温。

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电子束蒸发源

热灯丝产生的电子束经电场加速后轰击到靶材上使材料受热蒸发，具有受热集中、加热效率高的特点，特别适用于生长较难蒸发的低蒸汽压材料。该型号的电子束蒸发源可以实现非常精确的生长控制，主要用于表...

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三口电子束蒸发源的工作原理与标准电子束蒸发源相同。其主要特点是通过一个DN40CF法兰集成了三个电子束蒸发源，特别适合安装在在一些位置有限且生长量需求较低的腔体部位。其三个蒸发源炉之间内置特殊设计的挡板，有效防止了不同原料之间相互污染，并且每个源炉均有独立的束...

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在各类超高真空二维薄膜生长过程中，温度的稳定性都直接关系到了实验的可靠性与可重复性。同时对于某些需要特定升降温曲线的材料，不断的调节仪器参数也非常费时费力。热蒸发源程控电源机芯是日本进口的直流电源（...

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对于高熔点或者较难蒸发的低蒸汽压材料，往往需要用到电子束蒸发源来进行分子束外延生长，但相比于热蒸发源，电子束蒸发源的操作更加复杂，可能需要同时调节多个参数，且束流更难稳定。程控电子束蒸发源电源实现了高压和灯丝电流的远程控制，并可以实现发射电流和生长束流的自动稳...

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