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其他组件(Other components and accessories)
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视窗挡板
视窗挡板可以在一些特殊情况下保护视窗或者荧光屏。如生长样品时,不可避免地会有部分样品溅射到视窗或者RHEED荧光屏上,久而久之会将其覆盖,这时就需要视窗挡板对视窗和荧光屏进行保护。
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快开门
快开门主要用于快速开腔进样,其内部通过氟橡胶垫圈密封,可以反复使用,大大减少了无氧铜垫圈的使用。我们可以提供各种型号的盲板快开门和视窗快开门,其中视窗快开门集成了视窗和快开门的作用。
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样品托
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坩埚
PBN,Al2O3( 陶瓷坩埚)石英都是热蒸发源中常用的坩埚,最大加热温度均超过1350℃。W、Mo等高温难熔金属是制作电子束蒸发源坩埚的常用材料,它们熔点高,不易蒸发,且与大部分原料在高温下都不反应。
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