埃频（上海）仪器科技有限公司
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产品编号 |
产品名称 |
适用法兰 |
真空内长度 |
真空内直径 |
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LTC40L250 |
标准低温蒸发源 |
DN40CF |
250mm |
35mm |
对于一些蒸发温度较低且饱和蒸汽压较高的材料（如有机材料、大分子材 料等），由于其目标温度过低，某些极限情况下生长温度甚至与室温相近。因此传统热蒸发源很难精确控制生长温度，往往会出现升温过快，降温过慢以及坩埚温度不均匀等问题。低温蒸发源选用导热良好的石英坩埚，铜基座通过灯丝加热，通过冷却水降温，能够精确调控铜基座温度。坩埚外壁通过液态金属，与铜基座有非常好的热导，从而确保坩埚与铜基座有同样的温度。同时坩埚周围缠有灯丝，又保证了坩埚能够快速均匀升温以及温度的快速稳定。
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安装法兰 |
DN40CF（O.D.2.75'）/ DN63CF（O.D.4.5'） |
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真空中直径 |
35mm / 61mm |
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真空中长度 |
250mm（长度可定制） |
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温度范围与热偶型号 |
RT~300℃ / K-type热电偶 |
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烘烤温度 |
≤200℃（需要移除所有外部装置） |
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坩埚容积 |
10 cm3 |
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坩埚材质 |
石英 |
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挡板 |
手动（可定制成电动 / 气动） |
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水冷参数 |
流速：≥5 l/min；水压：≤ 5bar；水温：20~30℃ |
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工作气压 |
1e-11 mbar ~ 1e-5 mbar |
