埃频（上海）仪器科技有限公司
E-mail：info@aipin-instruments.com
电话：021-65640002
|
 |
|
产品编号 |
产品名称 |
适用法兰 |
真空内长度 |
真空内直径 |
|
HTC40L250 |
高温蒸发源 |
DN40CF |
250mm |
36mm |
有包括Fe, Ge, Ni, Cr在内的很多材料，由于其在1300°左右
的时候蒸汽压仍然处于比较低的状态，用标准的热蒸发源来生长效率非常低或者根本无法生长，这种情况下就需要使用温度可以高达1800°C的高温蒸发源来进行生长。
高温蒸发源采用自支撑的钨丝来制作灯丝组件，有效避免了传统热蒸发源用陶瓷件作为支撑时，受陶瓷蒸发温度影响在1400°C以上使用的情况。
右图为高温蒸发源的主要部件的示意图。
|
安装法兰 |
DN40CF（O.D.2.75'） |
|
真空中直径 |
36mm |
|
真空中长度 |
250mm（长度可定制） |
|
最大工作温度 |
1800℃ |
|
灯丝形式 |
自支撑钨灯丝 |
|
烘烤温度 |
≤200℃（需要移除所有外部装置） |
|
坩埚容积 |
6 cm3 |
|
热偶型号W |
W / Re-Type C热电偶（可定制其他类型） |
|
可使用坩埚 |
W, Mo, Ta 等 |
|
挡板 |
手动（可定制成电动 / 气动） |
|
水冷参数 |
流速：≥5 l/min；水压：≤ 5bar；水温：15~30℃ |
|
工作气压 |
1e-11 mbar ~ 1e-5 mbar |
注意事项：
1. 每个电流对应的温度为当前所加电流下，稳定状态后热偶所测量到的温度。
2. 电流越小，达到稳定状态所需要的时间越长。
3. 稳定状态的温度会受到挡板开启的状态，冷却水的温度，以及坩埚材质等因素的影响。
4. 通常情况下，打开挡板或者降低冷却水的温度，同样情况下，温度会更低一些，反之关闭挡板或者升高冷却水的温度，温度会更高一些。